電子廠廢氣處理辦法——低溫等離子技術(shù)

 

電子廠涉及到的行業(yè)許多，不同行業(yè)在工藝上有必定差異，發(fā)生的廢氣品種也有必定的差異，今日就從半導(dǎo)體行業(yè)下手為咱們介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導(dǎo)體廢氣的處理***要針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的管理，咱們測(cè)驗(yàn)運(yùn)用低溫等離子廢氣處理技術(shù)。半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)生的有機(jī)廢氣，***要能夠分為，半導(dǎo)體制作工藝發(fā)生的有機(jī)廢氣，和半導(dǎo)體封裝工藝發(fā)生的有機(jī)廢氣。

 

1、廠家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理辦法

 

現(xiàn)在，半導(dǎo)體制作過程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣(voc)一般選用直接燃燒、活性炭吸附、生物氧化等辦法進(jìn)行處理。

 

2、針對(duì)電子廠廢氣處理半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的管理，低溫等離子廢氣處理技術(shù)的凈化原理是：

 

將一般的220V/380V交流電經(jīng)過變壓器，變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓，發(fā)生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子損壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵，斷開這些化學(xué)鍵然后發(fā)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合構(gòu)成二氧化碳，氧原子和氫原子結(jié)合構(gòu)成水分子，終究發(fā)生排放到***氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

 

洗滌塔+低溫等離子處理計(jì)劃

 

3、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術(shù)具有以下***點(diǎn)：

 

放電發(fā)生的低溫等離子體中，電子能量高，簡(jiǎn)直能夠和一切的惡臭氣體分子效果。

反應(yīng)快，不受氣速約束。

選用防腐蝕資料。

只需用電，操作極為簡(jiǎn)略。

設(shè)備發(fā)動(dòng)、中止十分迅速，隨用隨開，常溫常壓下即能運(yùn)用。

氣阻小，適用于***風(fēng)量的廢氣處理。

4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技術(shù)應(yīng)用***域：集成電路生產(chǎn)企業(yè)、分立器材生產(chǎn)企業(yè)、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。

 

5、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放***征剖析

 

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量***、排放濃度小的***色。

 

6、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒氣的來源

 

半導(dǎo)體制作工藝發(fā)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣，***要來源于光刻、顯影、刻蝕及分散等工序

與半導(dǎo)體制作工藝比較，半導(dǎo)體封裝工藝發(fā)生的有機(jī)廢氣較為簡(jiǎn)略，***要為晶粒張貼、封膠后烘烤過程發(fā)生的烘烤廢氣。

含毒氣性廢氣，其來源為化學(xué)氣相堆積、干蝕刻機(jī)、分散、離子布值機(jī)及磊晶等制程時(shí)所發(fā)生。***要成分是磷化氫等。

電子廠廢氣處理半導(dǎo)體低溫等離子技術(shù)，在實(shí)踐規(guī)劃中，需求加洗滌塔作為預(yù)處理設(shè)備，來阻攔粉塵和易溶性的酸堿廢氣。